元件在矽晶圓上製作完成後，需用導線，使元…

積體電路製程中除原生氧化矽外，還需要許多…

微影術形成奈米線條遮罩，如何精準移轉至晶…

積體電路每一道製程都需要精細圖案，先進的…

積體電路製程中，將特定摻雜質離子化，用電…

積體電路製程中，擴散就是在特定高溫下，在…

了解矽的氧化機制才能控制氧化膜品質，也才…

矽能生長出化性穩定的氧化膜，才有今天的積…