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CH 22 化學氣相沉積
積體電路製程中除原生氧化矽外，還需要許多…
CH21 蝕刻技術
微影術形成奈米線條遮罩，如何精準移轉至晶…
CH20 微影技術
積體電路每一道製程都需要精細圖案，先進的…
CH19 摻雜質之離子佈植
積體電路製程中，將特定摻雜質離子化，用電…
CH18 摻雜質之擴散植入
積體電路製程中，擴散就是在特定高溫下，在…
什麼是光耦合器?
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CH17 矽氧化膜生長機制
了解矽的氧化機制才能控制氧化膜品質，也才…
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